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J-GLOBAL ID：200903040537208837

薄膜形成装置のClF3 によるクリーニングの終点検知法

Inventor： 斎藤 晴光 ,  福永 明
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 吉嶺 桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995264675
Publication number (International publication number)：1997078267
Application date： Sep. 20, 1995
Publication date： Mar. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】 薄膜形成装置のClF3 によるクリーニングにおいて、クリーニングの終点を正確に検知する。【解決手段】 薄膜形成装置1内に堆積した薄膜のClF3 を用いるクリーニングにおいて、前記薄膜形成装置1から排出するクリーニング排ガスを鉄酸化物等の吸着剤を充てんした吸着剤槽4に導入し、該吸着剤槽に生じる温度変化を測定5することにより前記クリーニングの終点をモニターすることによる。

Claim (excerpt)：

薄膜形成装置内に堆積した薄膜のClF3 を用いるクリーニングにおいて、前記薄膜形成装置から排出するクリーニング排ガスを吸着剤を充てんした吸着剤槽に導入し、該吸着剤槽に生じる温度変化を測定することにより、前記クリーニングの終点をモニターすることを特徴とする薄膜形成装置のClF3 によるクリーニングの終点検知法。

IPC (4)：

C23F 4/00 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341

FI (4)：

C23F 4/00 F ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341 Z