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J-GLOBAL ID：200903040541399825

微小熱電対付きカンチレバー

Inventor： 鈴木 美彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996006487
Publication number (International publication number)：1997196940
Application date： Jan. 18, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】試料表面の温度分布と凹凸の形状を分離して観察する。【解決手段】本発明の熱電対付きカンチレバーは、支持体1と、接合穴3が設けられ前記支持体1に一端が支持された可撓性プレート2と、該可撓性プレート2の一方の主面に配置され前記接合穴3を覆い支持体1まで延在された第1の金属膜4と、前記可撓性プレート2の他方の主面に配置され前記接合穴3を覆い支持体1まで延在された第2の金属膜5と、前記第1の金属膜4と前記第2の金属膜5からなり熱電対をなす探針6が前記接合穴3に配置されている。

Claim (excerpt)：

支持体と、接合穴が設けられ前記支持体に一端が支持された可撓性プレートと、該可撓性プレートの一方の主面に配置され前記接合穴を覆い支持体まで延在された第1の金属膜と、前記可撓性プレートの他方の主面に配置され前記接合穴を覆い支持体まで延在された第2の金属膜と、前記第1の金属膜と前記第2の金属膜からなり熱電対をなす探針が前記接合穴に配置されたことを特徴とする微小熱電対付きカンチレバー。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01K 7/18 ,  G01K 7/22

FI (4)：

G01N 37/00 H ,  G01B 21/30 Z ,  G01K 7/18 B ,  G01K 7/22 A