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J-GLOBAL ID：200903040563711520

圧電体振動ジャイロセンサ

Inventor： 富川 義朗 ,  田中 良明
Applicant, Patent owner： 東洋通信機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002260777
Publication number (International publication number)：2004101255
Application date： Sep. 06, 2002
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：

【課題】コリオリ力を利用した振動ジャイロセンサにおいて、加工が容易でかつ検出感度にすぐれた一次、二次電極配置構造を備えた振動ジャイロセンサを提供することを目的とする。【解決手段】二つの角柱状アーム部と前記アーム部の下端を支持する基底部とが一体となった音叉型振動体と、前記角柱状アーム部に形成した一次電極と、前記アーム部に形成した弾性表面波素子用IDT(二次電極)とを備える圧電体振動ジャイロセンサにおいて、前記角柱状アーム部の対向する二つの表面それぞれに一次電極を前記長軸方向に沿って所定間隔離して並列配置し、該弾性表面波素子用IDTを該角柱状アーム部下端の前記一次電極の間に配置したことを特徴とする圧電体振動ジャイロセンサ。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

二つの角柱状アーム部と前記アーム部の下端を支持する基底部とが一体となった音叉型振動体と、前記二つの角柱状アーム部に形成した駆動電極(一次電極)と、前記二つのアーム部に形成した弾性表面波素子用IDT電極(二次電極)とを備える圧電体振動ジャイロセンサにおいて、 前記角柱状アーム部の対向する二つの表面それぞれに前記駆動電極を前記長軸方向に沿って所定間隔離して並列配置し、前記角柱状アーム部の一方の表面に前記駆動用電極と共に前記弾性表面波素子用IDT電極を形成したものであって、前記弾性表面波素子用IDT電極を該角柱状アーム部下端の前記駆動電極の間に配置したことを特徴とする圧電体振動ジャイロセンサ。

IPC (4)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18

FI (4)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A

F-Term (6)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD01 ,  2F105CD06