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J-GLOBAL ID：200903040564638703

無機エーロゲル及び該無機物質へグラフトさせた有機充填物からなる集積回路用低誘電率複合膜及び製造方法

Inventor： チェロフォリニ ジャンフランコ ,  デ サンティ ジョルジオ ,  クリセンツァ ジウセッペ
Applicant, Patent owner： エスティーマイクロエレクトロニクスエス.アール.エル.
Agent (1)： 小橋 一男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998118724
Publication number (International publication number)：1999005820
Application date： Apr. 28, 1998
Publication date： Jan. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】 集積回路における積層させた導電層の間において使用するのに適した誘電膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】 集積回路の相互接続を構成する積層させた導電層の間の絶縁膜が、不活性イオンの衝撃によって有機モノマを無機酸化物からなるエーロゲル上にグラフトさせ、次いで該無機エーロゲルの多数の孔を少なくとも部分的に充填させるために該エーロゲル内に組込ませることによって構成されている。該複合誘電体物質は、熱的に安定であり且つ満足するサーマルバジェットを有している。エーロゲル膜を製造する方法は、ウエハ上に前駆体化合物溶液をスピニングさせ、次いでスピニングチャンバ内において超臨界溶媒抽出を実施することを包含している。

Claim (excerpt)：

低誘電率物質において、エーロゲル無機物質へグラフトさせた有機モノマを有する無機誘電性酸化物からなるエーロゲルから構成したことを特徴とする低誘電率物質。

IPC (5)：

C08F292/00 ,  C01B 33/12 ,  C08L 51/10 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/768

FI (5)：

C08F292/00 ,  C01B 33/12 ,  C08L 51/10 ,  H01L 21/312 A ,  H01L 21/90 S