Pat
J-GLOBAL ID：200903040578724491

多層反射膜付き基板、露光用反射型マスクブランクス及び露光用反射型マスク、並びにそれらの製造方法

Inventor：
木下 健

About 木下 健

, 
細谷 守男

About 細谷 守男

, 
笑喜 勉

About 笑喜 勉


Applicant, Patent owner：
HOYA株式会社

About HOYA株式会社


Agent (1)： 大塚 武史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004369863
Publication number (International publication number)：2005210093
Application date： Dec. 21, 2004
Publication date： Aug. 04, 2005
Summary：
【課題】導電膜を設けた基板の静電チャック時の導電膜の膜剥れや異常放電によるパーティクルの発生を抑制した多層反射膜付き基板、パーティクルによる表面欠陥の少ない高品質の露光用反射型マスクブランクス、及びパーティクルによるパターン欠陥のない高品質の露光用反射型マスクを提供する。【解決手段】基板1上に、露光光を反射する多層反射膜3を有し、基板1を挟んで多層反射膜3と反対側に、基板1の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜2が形成されている多層反射膜付き基板10である。導電膜2は例えばクロム(Cr)を含む材料からなり、導電膜2のうち基板1側には窒素(N)を含み、表面側には酸素(O)及び炭素(C)の少なくとも何れか一方を含む。この多層反射膜付き基板10の多層反射膜3上に、露光光を吸収する吸収体膜を形成することにより露光用反射型マスクブランクスが得られる。また、この露光用反射型マスクブランクスの吸収体膜にパターンを形成することにより露光用反射型マスクが得られる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板上に、露光光を反射する多層反射膜を有する多層反射膜付き基板であって、前記基板を挟んで前記多層反射膜と反対側に、前記基板の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜が形成されていることを特徴とする多層反射膜付き基板。
IPC (3)：
H01L21/027 ,  G03F1/16 ,  G21K1/06
FI (3)：
H01L21/30 531M ,  G03F1/16 A ,  G21K1/06 B
F-Term (17)：
2H095BA10 ,  2H095BC17 ,  2H095BC27 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA41 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC03 ,  4K029BD09 ,  4K029CA06 ,  4K029DC37 ,  4K029EA03 ,  4K029JA01 ,  5F046GD10 ,  5F046GD17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 反射マスク基板のコーティング
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-501941   Applicant：ザリージェンツオブザユニバーシティオブカリフォルニア
Cited by examiner (18)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM