Pat
J-GLOBAL ID：200903040615582147
プラズマ発生装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992352598
Publication number (International publication number)：1994177058
Application date： Dec. 10, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】構造が簡単で製作費、メンテナンスコストの安価な而もプラズマ密度が均一であるプラズマ発生装置を提供する。【構成】反応室24を画成する真空容器23の外側にプラズマ発生コイル26を配設し、該プラズマ発生コイルに高周波電源28を接続し、反応室を減圧状態にしてプラズマ発生コイルに高周波電力を印加し、プラズマ発生コイルが形成する電磁波によって反応室内にプラズマ11を発生させる。
Claim (excerpt)：
反応室を画成する真空容器の外側にプラズマ発生コイルを配設し、該プラズマ発生コイルに高周波電源を接続したことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (5)：
H01L 21/205
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/302
, H05H 1/46
