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J-GLOBAL ID:200903040625013175

研磨用組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998261521
Publication number (International publication number):2000084832
Application date: Sep. 16, 1998
Publication date: Mar. 28, 2000
Summary:
【要約】【課題】 水溶液に研磨砥粒を分散してなる研磨用組成物のpH及び電気伝導度を調整し、不純物の化学的反応及び砥粒の凝集の防止を図って良好な研磨性を確保する。【解決手段】 研磨砥粒とエチルアルコール及び水を含んでなる研磨用組成物であって、この研磨用組成物のpHが2.5〜5.0で、且つ電気伝導度が30μS/cm以下に調整してなる。
Claim (excerpt):
研磨砥粒とエチルアルコール及び水を含んでなる研磨用組成物であって、該研磨用組成物のpHが2.5〜5.0で、且つ電気伝導度が30μS/cm以下であることを特徴とする研磨用組成物。
F-Term (3):
3C058AA07 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02

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