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J-GLOBAL ID：200903040644331277

光電子マルチチップ・モジュール

Inventor： ロベルトソン、マトス ,  グスタフソン、ゴーラン ,  ハゲル、オルレ、ヨニイ
Applicant, Patent owner： テレフオンアクチーボラゲツト エル エム エリクソン(パブル)
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000534898
Publication number (International publication number)：2002506223
Application date： Mar. 08, 1999
Publication date： Feb. 26, 2002
Summary：

【要約】基板(19)の上の薄膜多層構造は、光導波路(9)がそれで形成される適応反射率を有する3つのポリマー層(31、35、39)を有する。信号伝導金属層(33、37、41)はこれらの3つの薄膜層に配置されている。金属は導波路コア内で腐蝕し去られて、これによりコアとクラッディング物質の間の反射率の相違を有するチャネル・タイプの通常の光導波路が得られる。電気的ビアを形成するためにポリマー層内にホールが腐蝕される。レーザーのアブレーションによりミラー(55)を形成し得て、3つのポリマー層のもう1つの類似のセットが図示の層の上に取りつけられた場合に、光導波路とある構成要素(7)との接続を供給し、また光ビアを形成する。こうして、多層構造内の電気的および光の相互接続が、最小数のポリマー層を使用して集積され、低損失を有する光導波路が構成される。

Claim (excerpt)：

電気信号と光信号を伝導する多層構造であって、 アンダークラッディングを形成する第1ポリマー層と、 前記第1ポリマー層の上に置かれて少なくとも1つの導波路コアを含んでいる第2ポリマー層と、 前記第2ポリマー層の上に置かれてオーバークラッディングを形成する第3ポリマー層を含んでいて、 前記ポリマー層のうちの1つのポリマー層の反対面に配置されて電気信号導体を形成する2つのパターン化された金属層を特徴として、このポリマー層は電気的に絶縁されていて、前記2つの金属層のパターン化は、前記第2ポリマー層に配置された2つの金属層の1つにおける前記少なくとも1つの導波路コアにおいて、少なくとも1つのストリップ内で少なくとも1つの導波路に平行に前記金属物質が除去され、それにより前記少なくとも1つの導波路コアが前記ポリマー層内の物質に境界をつけられるか取り巻かれているようになっている前記多層構造。

IPC (2)：

G02B 6/122 ,  H05K 1/02

FI (2)：

H05K 1/02 T ,  G02B 6/12 A

F-Term (11)：

2H047MA07 ,  2H047QA05 ,  2H047RA00 ,  2H047TA00 ,  2H047TA36 ,  5E338BB31 ,  5E338BB75 ,  5E338CC01 ,  5E338CC10 ,  5E338CD11 ,  5E338EE11