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J-GLOBAL ID：200903040661799819

剥離帯電防止チャック

Inventor： 松本 力也 ,  越智 敏晴
Applicant, Patent owner： 新エスティーアイ テクノロジー株式会社
Agent (1)： 亀井 弘勝 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000131058
Publication number (International publication number)：2001310231
Application date： Apr. 28, 2000
Publication date： Nov. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】 液晶カラーフィルタの製造工程において、剥離帯電による透明基板の割れを発生させることなく、当該透明基板を引き離すことのできるチャック10を提供する。【解決手段】 本発明のチャック10は、基底面11上に突設されて、その突端面13で透明基板を支える保持部12や、隣接する保持部12の側壁面14と基底面11とによって区画され、チャック10上に透明基板を載置したときに閉じられた空間を形成する溝状の吸引部15の面積比率等を調整したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

カラーフィルタの製造時に当該カラーフィルタの透明基板を設置、固定するチャックであって、当該チャックの基底面上に突設されて、その突端面で前記透明基板を支える凸条でかつ断面略矩形状の保持部と、隣接する保持部の側壁面とチャックの基底面とによって区画され、チャック上に透明基板を載置したときに閉じられた空間を形成する溝状の吸引部と、前記透明基板を押し上げて前記保持部から剥離させる突き上げピンと、を備えており、前記吸引部は、チャック上に透明基板を載置した後、吸引部内の基底面に設けられた吸引口からエアーを吸い込むことによって略真空状態とすることができるものであり、チャック表面の全面積に占める前記突端面の全面積の割合が10〜15%で、チャック表面の全面積に占める前記吸引部での基底面の全面積の割合が5〜10%であり、さらに、前記突端部の幅が5〜8mm、前記吸引部の幅が3〜5mm、かつ隣接する突端部の最大間隔が230mmである、ことを特徴とする剥離帯電防止チャック。

IPC (2)：

B23Q 3/18 ,  B23Q 3/08

FI (2)：

B23Q 3/18 A ,  B23Q 3/08 A

F-Term (5)：

3C016AA01 ,  3C016CE05 ,  3C016DA03 ,  3C016EA01 ,  3C016HA12