セラミックスグリーンシートおよびそれを用いたセラミックス基板の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：綿貫達雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995286052
Publication number (International publication number)：1996238613
Application date： Nov. 02, 1995
Publication date： Sep. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】平滑性が高くかつ薄肉なセラミックスグリ-ンシ-トおよびそれを用いたセラミックス基板の製造方法を提供するものである。【構成】第1の発明は、セラミックスグリ-ンシ-トを構成するセラミックス粒子が所定の値の球相当径と平均凝集度からなる。第2の発明は、前記セラミックス粉末を用いかつセラミックススラリ-中に含まれる凝集物等をデプスタイプのフィルタ-または遠心分離処理により除去するものである。

Claim (excerpt)：

セラミックス成分として、1次粒子の球相当径が 0.01 〜 0.5μm、平均凝集度が最大10であるセラミックス粒子からなり、粒子径20μm以上の2次粒子が体積割合で多くとも1%であり、且つ、表面粗さRaが大きくとも0.2μmであることを特徴とするセラミックスグリーンシート。

IPC (4)：

B28B 11/02 , B28B 1/30 101 , C04B 35/622 , H05K 1/03 610

FI (4)：

B28B 11/02 , B28B 1/30 101 , H05K 1/03 610 D , C04B 35/00 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

ジルコニアグリーンシート用組成物、該組成物を成形して得られるジルコニアグリーンシート、該ジルコニアグリーンシートを焼成して得られるジルコニアシートおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-153053 Applicant：株式会社日本触媒
特開昭55-134991
特開昭62-278177

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