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J-GLOBAL ID：200903040672235704

焦点検出方法

Inventor： 安部 勇幸
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992177741
Publication number (International publication number)：1993346533
Application date： Jun. 12, 1992
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：

【要約】【構成】 合焦点からの距離に応じてパルスモータ36により顕微鏡を被測定物に対して接離操作するに際し、合焦点近傍部までは顕微鏡を被測定物に対して高速で送り、合焦点近傍部では顕微鏡を被測定物に対して低速で送るようにサーボを切替える。【効果】 フォーカシング速度が向上するとともに、フォーカシング時間が大幅に短縮する。

Claim (excerpt)：

合焦点からの距離に応じてパルスモータにより顕微鏡を被測定物に対して接離操作するに際し、合焦点近傍部までは顕微鏡を被測定物に対して高速で送り、合焦点近傍部では顕微鏡を被測定物に対して低速で送るようにサーボを切替えることを特徴とする焦点検出方法。

IPC (4)：

G02B 7/28 ,  G02B 7/36 ,  G02B 21/00 ,  H04N 5/232

FI (2)：

G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 D