Pat

J-GLOBAL ID：200903040681174769

露光量むらの計測方法及び該計測方法を用いた露光方法

Inventor： 小澤 謙
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993307751
Publication number (International publication number)：1995161615
Application date： Dec. 08, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】 スキャン露光方式でウエハ上の各ショット領域に露光した後の、ウエハ上での露光量むらを計測する。【構成】 スリット状の露光領域16に対して走査方向に平行な軌跡T1〜Tnに沿って繰り返し露光量むらセンサ18の受光部18aを走査し、各軌跡Ti(i=1〜n)を走査する際に得られた露光量むらセンサ18の出力信号を積算して積算出力信号Udiを得る。積算出力信号Udiのばらつきが、スキャン露光後にウエハ上に生じ得る最大の露光量むらを現す。

Claim (excerpt)：

照明光で所定形状の照明領域を照明し、前記照明領域に対して所定の走査方向に相対的に転写用のパターンが形成されたマスク及び感光性の基板を同期して走査することにより、前記マスクのパターンを逐次前記基板上に露光する露光装置の、前記基板上での露光量むらの計測方法において、前記基板の露光面と同じ高さの受光面を有する計測用光電変換手段と前記照明領域との前記所定の走査方向に垂直な非走査方向の相対位置を変えながら、且つ前記計測用光電変換手段の出力信号を積算しつつ、前記照明領域に対して前記所定の走査方向に相対的に前記計測用光電変換手段を露光時の最大の相対走査速度又は任意の相対走査速度で繰り返し走査し、前記相対的な走査毎に得られた前記計測用光電変換手段の出力信号の積算値の、前記非走査方向へのばらつきを算出し、該算出された前記計測用光電変換手段の出力信号の積算値のばらつきより、前記基板上で生じ得る露光量むらを求めることを特徴とする露光量むらの計測方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 516 C