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J-GLOBAL ID：200903040710544350

微粒子のブレイクダウン特性の測定装置およびその測定方法

Inventor： 泉田 信也 ,  斉藤 光徳
Applicant, Patent owner： 東レエンジニアリング株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998185600
Publication number (International publication number)：2000002647
Application date： Jun. 15, 1998
Publication date： Jan. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】 微粒子のブレイクダウン音響波の波高値とレーザービームパワー密度の関係を正確に求めることが可能な微粒子のブレイクダウン特性の測定装置および測定方法を提供することである。【解決手段】 試料セル中の試料液にパルス状のレーザービームを所定数照射するレーザービーム照射手段1と、所定数のレーザービームの照射によって発生したブレイクダウン音響波を検出する音響波検出手段5と、検出された音響波を波形として記録する波形記録手段6と、記録した音響波の波形群の中で最大のピーク値を求める波形解析手段7とを備えた構成にしてある。

Claim (excerpt)：

試料セル中の試料液にパルス状のレーザービームを所定数照射するレーザビーム照射手段と、所定数のレーザービームの照射によって発生したブレイクダウン音響波を検出する音響波検出手段と、検出された音響波を波形として記録する波形記録手段と、記録した音響波の波形群の中で最大のピーク値を求める波形解析手段とを備えていることを特徴とする微粒子のブレイクダウン特性の測定装置。

IPC (2)：

G01N 15/10 ,  G01N 29/14

FI (2)：

G01N 15/10 A ,  G01N 29/14

F-Term (4)：

2G047AA01 ,  2G047AC00 ,  2G047CA04 ,  2G047GG24