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J-GLOBAL ID：200903040719104930

反射鏡およびその製造方法

Inventor： 村上 勝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994203921
Publication number (International publication number)：1996068898
Application date： Aug. 29, 1994
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 X線などの照射光による熱変形を充分小さく抑えることのできる反射鏡を提供する。【構成】 線膨張率が1×10-7/K以下であるインバー製の基板1と、この基板1の表面に形成され表面を光学的に平滑に研磨されたガラス製薄板2とを備える。X線光学系に使用する場合には、薄膜2の表面に所定波長のX線を反射する多層膜4を形成する。

Claim (excerpt)：

金属製基板と、この金属製基板の表面に貼り合わされ表面を光学的に平滑に研磨されたガラス製薄板とを具備することを特徴とする反射鏡。

IPC (3)：

G21K 1/06 ,  G02B 5/08 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開2044-011403
  
• 特開2044-011403