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J-GLOBAL ID：200903040731340878
サブストレート処理装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 弘男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992235442
Publication number (International publication number)：1994256944
Application date： Aug. 11, 1992
Publication date： Sep. 13, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明の目的は、サブストレートをプラズマによって処理する装置を提供することである。【構成】 少なくとも1つの陽極と、1つの陰極と、陽極/陰極通路内にパルス的に接続可能な直流電圧源とを具備し、電圧パルスの長さ及びパルス間の間隔の両方または何れか一方が調整可能になっている。
Claim (excerpt)：
少なくとも1つの陽極と、1つの陰極と、陽極/陰極通路にパルス的に接続可能な直流電流/電圧源とを備え、プラズマによってサブストレートを処理するための装置であって、電圧パルスの長さ及びパルス間の間隔の両方または何れか一方を調整可能にしたことを特徴とする装置。
IPC (2)：
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