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J-GLOBAL ID：200903040737918251

ヘテロダイン2波長変位干渉計

Inventor： 内川 清
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992109873
Publication number (International publication number)：1993302810
Application date： Apr. 28, 1992
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ヘテロダイン法を用いた2波長変位干渉計を、簡単な構成で提供する。【構成】 共軸または空間的に近接した状態で平行になるように設定されている少なくとも2種類以上の異なる波長の光波を、直交偏光ビームスプリッタにより各々参照光と測定光に分割し、各々の波長における参照光と測定光の光路差の変化を該参照光と測定光の光波の干渉により測定する2波長変位干渉計において、前記参照光および測定光の少なくとも一方の光周波数を変化させる変調手段7、8を設けた。

Claim (excerpt)：

共軸または空間的に近接した状態で平行になるように設定されている少なくとも2種類以上の異なる波長の光波を、直交偏光ビームスプリッタにより各々参照光と測定光に分割し、各々の波長における参照光と測定光の光路差の変化を該参照光と測定光の光波の干渉により測定する2波長変位干渉計において、前記参照光および測定光の少なくとも一方の光周波数を変化させる変調手段を有することを特徴とするヘテロダイン2波長変位干渉計。