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J-GLOBAL ID：200903040765377924

パラメータ抽出方法

Inventor： 遠田 利之
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995236681
Publication number (International publication number)：1997081598
Application date： Sep. 14, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 物理的精度の高いパラメータの組合わせを抽出することである。【解決手段】 暫定的に設定した初期パラメータを用いて電気的特性を計算し、その計算値と実測値との誤差の算出を行い、この誤差の算出により誤差が所定の許容量に収束しない場合には、補正量を制限するパラメータと、補正量を制限しないパラメータとを選択し、前記制限を行うパラメータの係数行列を変更して制限される補正量を算出し、この算出された補正量により補正されたパラメータを用いて、電気的特性を計算し、その計算値と実測値との誤差の算出を行うことでパラメータを抽出する。

Claim (excerpt)：

複数のパラメータを反復法によって抽出する方法であって、補正量を制限する少なくとも1つの前記パラメータと、補正量を制限しない少なくとも1つの前記パラメータとを、補正量の算出を行う前に予め選択するステップと、この選択された補正量を制限する少なくとも1つの前記パラメータの補正量を制限して補正量を算出するステップと、この算出された補正量により補正されたパラメータを用いて、特性を計算するステップとを含み、前記特性の計算値と実測値との誤差が所定の範囲内となるまで上記のステップを少なくとも1回反復して行うことを特徴とするパラメータ抽出方法。