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J-GLOBAL ID：200903040783777085
形状パターン検査方法及び装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992032313
Publication number (International publication number)：1993231842
Application date： Feb. 19, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】チェインコードを利用した画像処理方法を利用して、プリント基板、ICのマスクパターン等の製造ラインにおける、生産品の損傷等を、高精度で検出する。【構成】ビデオカメラ2、画像処理装置3、センサ4を有して構成され、被検体1の良否を判断するチェインコードテーブルを利用して、被検体の良否を判断する。【効果】比較的簡単なハードウエア構成で応用範囲の広い形状パターン検査方法の実現が可能となる。
Claim (excerpt)：
被検査対象物の、検査に必要な画像を記憶しておき、該画像を構成する画素のうち、該画像の外縁を構成する、連続する画素間の方向を示す方向コ-ドテ-ブルを作成して、登録しておき、前記予め登録しておいた方向コ-ドテ-ブルに基づき、被検体の画像を画素ごとに走査し、画素間の輝度情報の変化量が、所定値以上の値を有する箇所および該箇所数を求め、被検体の形状を検査することを特徴とする被検体の形状パタ-ン検査方法。
IPC (6)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G03F 1/08
, G06F 15/62 400
, H01L 21/027
, H01L 21/66
