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J-GLOBAL ID：200903040788979123
微粒子成分分析装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992289038
Publication number (International publication number)：1994138091
Application date： Oct. 27, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：
【要約】【目的】マイクロ波誘導プラズマで解離した1個の微粒子に含まれる多元素を瞬時に分析できる微粒子成分分析装置を提供する。【構成】マイクロ波誘導プラズマを利用して微粒子の元素分析を行なう微粒子成分分析装置において,キャビティ内にマイクロ波誘導プラズマを生じさせる放電管と,該キャビティ内に冷却水を循環供給する冷却ユニットと,前記マイクロ波誘導プラズマ内のイオンを一定時間毎に引き出す第1グリッドと,該第1グリッドにより引き出されたイオンを加速する第2グリッドと,該第2グリッドに前記イオンが飛行するドリフト空間を介して対向して配置されたイオン陰極と,該イオン陰極に到達した電子を増倍する2次電子増倍管と,その増倍された2次電子を捕えて電気信号に変換する陽極と,該陽極からの電気信号を増幅する広帯域増幅器と,前記イオン陰極に到達したイオンの到達時間を測定するパルス遅延トリガーを備えている。
Claim (excerpt)：
マイクロ波誘導プラズマを利用して微粒子の元素分析を行なう微粒子成分分析装置において,キャビティ内にマイクロ波誘導プラズマを生じさせる放電管と,該キャビティ内に冷却水を循環供給する冷却ユニットと,前記マイクロ波誘導プラズマ内のイオンを一定時間毎に引き出す第1グリッドと,該第1グリッドにより引き出されたイオンを加速する第2グリッドと,該第2グリッドに前記イオンが飛行するドリフト空間を介して対向して配置されたイオン陰極と,該イオン陰極に到達した電子を増倍する2次電子増倍管と,その増倍された2次電子を捕えて電気信号に変換する陽極と,該陽極からの電気信号を増幅する広帯域増幅器と,前記イオン陰極に到達したイオンの到達時間を測定するパルス遅延トリガーからなり,前記第1,第2グリッドにより引出されたイオンの成分を所定時間内に分析することを特徴とする微粒子成分分析装置。
IPC (3)：
G01N 27/62
, G01N 27/68
, H01J 49/40
