感放射線性塗布組成物及びそれを使用する半導体製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995348245
Publication number (International publication number)：1997171248
Application date： Dec. 19, 1995
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は、単層のプロセスにて反射の影響を低減させ、パターン形状の優れた高解像度の感放射線性塗布組成物及びその組成物を用いる半導体製造方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、アルカリ可溶性樹脂、溶媒及び感放射線化合物からなる感放射線性塗布組成物において、該組成物に、放射された放射線(第1放射線)により、第1放射線より1〜150nm長い波長で、且つ500nm以下の波長の放射線(第2放射線)を放出する蛍光物質を含有させることよりなる感放射線性塗布組成物及び該感放射線性塗布組成物を半導体製造工程に用いることよりなる半導体製造方法である。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、溶媒及び感放射線化合物からなる感放射線性塗布組成物において、該組成物に、放射された放射線(第1放射線)により、第1放射線より1〜150nm長い波長で、且つ500nm以下の波長の放射線(第2放射線)を放出する蛍光物質を含有させることを特徴とする感放射線性塗布組成物。

IPC (10)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , C09D 5/22 PQU , C09D 5/32 PRB , C09D 5/33 PRB , C09K 11/06 , G03F 7/022 , G03F 7/023 511 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (10)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , C09D 5/22 PQU , C09D 5/32 PRB , C09D 5/33 PRB , C09K 11/06 Z , G03F 7/022 , G03F 7/023 511 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

染色されたポジ型i-線感光性混合物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-128740 Applicant：オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
ポジ型感電離放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-063862 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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