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J-GLOBAL ID：200903040897344847

液晶表示素子の加工方法

Inventor： 鈴木 堅吉 ,  松田 正昭 ,  荻野 利男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995128160
Publication number (International publication number)：1996320482
Application date： May. 26, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】非接触の手段で大面積に亘ってカラーフィルター基板の高精度の平坦化を実現し、高画質の液晶表示素子を得る。【構成】基板2上にブラックマトリクスで区画された複数色のカラーフィルタ層3を形成した後、その表面にエキシマレーザー光4を照射し、エキシマレーザー光4のアブレーション現象を用いてカラーフィルタ層3の凸部3aを切削し除去して平坦に加工する。

Claim (excerpt)：

基板上にブラックマトリクスで区画された複数色のカラーフィルタ層を形成した後、前記カラーフィルタの全面に保護膜を積層してなるカラーフィルタ基板を具備した液晶表示素子の加工方法において、前記保護膜の表面にエキシマレーザー光を照射し、エキシマレーザー光のアブレーション現象を用いて前記保護膜の凸部を切削して平坦に加工することを特徴とする液晶表示素子の加工方法。

IPC (2)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101

FI (2)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101