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J-GLOBAL ID：200903040902285374

樹脂硬化方法及び樹脂成型品等の製造方法、並びにそれらに用いる器具及び得られる製品

Inventor：
成田 博和

About 成田 博和


Applicant, Patent owner：
リコー光学株式会社

About リコー光学株式会社


Agent (1)： 野口 繁雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002097054
Publication number (International publication number)：2003291159
Application date： Mar. 29, 2002
Publication date： Oct. 14, 2003
Summary：
【要約】【課題】 樹脂収縮しろ設定を不要にして微細形状を精密に転写できるようにする。【解決手段】 型には転写される形状の成型品形成部分の他に、樹脂の硬化過程で収縮分の樹脂を供給することを目的とした樹脂溜まり部と、樹脂溜まり部から樹脂を供給する供給溝を形成しておく。型にUV硬化型樹脂を塗布し、型と転写基板を、UV硬化型樹脂を介して面合わせし加圧した状態で、マスクを介してUV光を照射するとともに、露光領域を移動させる。樹脂は硬化しながら収縮して硬化樹脂となるが、未硬化部から収縮体積分が供給され、あたかも樹脂が収縮していないような樹脂硬化が行なわれる。
Claim (excerpt)：
塗布された光硬化性樹脂を露光して硬化させる方法において、前記光硬化性樹脂を露光する領域が前記光硬化性樹脂の硬化予定面積に比べて微小な面積となるように、露光用の照射光を照射領域を制限するマスクにより制限し、その露光領域を前記光硬化性樹脂に対して相対的に移動させて前記光硬化性樹脂の硬化予定面積を1回走査する露光工程を含んでいることを特徴とする樹脂硬化方法。
IPC (6)：
B29C 39/40 ,  B29C 39/10 ,  B29C 39/26 ,  B29C 39/44 ,  B29K101:10 ,  B29L 11:00
FI (6)：
B29C 39/40 ,  B29C 39/10 ,  B29C 39/26 ,  B29C 39/44 ,  B29K101:10 ,  B29L 11:00
F-Term (22)：
4F202AA44 ,  4F202AD04 ,  4F202AH75 ,  4F202AK03 ,  4F202AR07 ,  4F202AR11 ,  4F202CA01 ,  4F202CB11 ,  4F202CD22 ,  4F202CK53 ,  4F204AA44 ,  4F204AD04 ,  4F204AH75 ,  4F204AR07 ,  4F204AR11 ,  4F204EA03 ,  4F204EA04 ,  4F204EB01 ,  4F204EB11 ,  4F204EK17 ,  4F204EK18 ,  4F204EK26
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
  • 特開昭62-131201
  • 特表平6-506409
  • 非球面光学素子の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-212815   Applicant：株式会社ニコン
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