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J-GLOBAL ID：200903040964344288
走査型マイクロ波顕微鏡及びマイクロ波共振器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 詔男 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000368879
Publication number (International publication number)：2002168801
Application date： Dec. 04, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：
【要約】【課題】 走査型マイクロ波顕微鏡におけるマイクロ波共振器の先端部と試料との間の平均距離を一定に制御して高解像度を得る。【解決手段】 マイクロ波信号源103の出力は、方向性結合器106、減結合器107を経てマイクロ波共振器101に結合され、その先端部102と試料104との共振系で反射された後、減結合器から方向性結合器を経てダイオード110で検波される。発振器111の信号は、加算器112からピエゾチューブ105に供給され、上記先端部と試料との距離を僅かに変調し、変調により生じた共振状態の変化はダイオードにより検波されて位相振幅検出器113に入力され、発振器の信号位相に依存した振幅差を得る。加算器114で振幅差出力と設定値SPとを比較して得られる誤差出力は帰還増幅器115から加算器で発振信号と加算され、ピエゾチューブのz変位用電極に帰還されて先端部と試料との平均距離を設定値に制御する。
Claim (excerpt)：
マイクロ波共振器と、このマイクロ波共振器を励振する励振手段と、前記マイクロ波共振器の共振状態に関する量を検出し第1の検出量を出力する第1の検出手段と、前記マイクロ波共振器の中心導体に接続される先鋭な先端部とを有し、前記先端部と対向する試料面上を前記先端部により走査して前記第1の検出量を画像化する走査型マイクロ波顕微鏡において、前記先端部と試料面との間の距離に微小な変化を与える距離変化手段と、前記距離の変化に応じた前記第1の検出量の変化を検出し第2の検出量を出力する第2の検出手段と、前記第2の検出量を用いて前記先端部と試料面との平均距離を一定に制御する制御手段とを設けたことを特徴とする走査型マイクロ波顕微鏡。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 22/00 P
, G01N 22/00 J
, G01N 13/16 A
