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J-GLOBAL ID：200903040985467193

超微細加工方法

Inventor： 北原 邦紀
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992239874
Publication number (International publication number)：1994089886
Application date： Sep. 09, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：

【要約】【目的】 STM 加工方法に関し,試料温度のドリフトに対する位置ずれの補正を可能にすることを目的とする。【構成】 1)被加工面に探針を対向させ, 該探針を走査させながら該探針の先端から放射または吸収される電子流あるいは電界により, 該被加工面上の複数位置に穴または突起を形成してマーカとし, 該マーカの位置を複数の走査速度で測定し,得られた位置ずれのデータから該針の先端と該被加工面との相対的な位置のドリフト量を求め, 該ドリフト量を描画データに取り込んで探針の走査速度,印加電圧, 電流を制御して描画を行う,2)既知の表面構造を有する被加工面において, 前記マーカの代わりに該被加工面の形状を用いるように構成する。

Claim (excerpt)：

被加工面の任意の複数位置においてマーカを設定する第1の工程と,該マーカの位置を複数の走査速度で複数回測定し,特定の該マーカの複数回の測定における位置ずれのデータから探針の先端と該被加工面との相対的な位置のドリフト量を求める第2の工程と,該ドリフト量に基づいて該探針を制御し,描画を行う第3の工程とを有することを特徴とする超微細加工方法。