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J-GLOBAL ID：200903041014605480

電子ビーム加熱装置および材料加熱方法

Inventor： 伊藤 和典 ,  熊野 勝文
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー ,  リコー応用電子研究所株式会社
Agent (1)： 植本 雅治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992028961
Publication number (International publication number)：1993195049
Application date： Jan. 20, 1992
Publication date： Aug. 03, 1993
Summary：

【要約】【目的】 電子ビームにより材料のアニールを行なう際、アニールを良好にかつ安定して行なうことができるよう材料を加熱することが可能である。【構成】 グロー放電により得られる電子ビームで材料9を加熱する加熱部1に直流電源4より電力を供給するが、この際に、制御回路5によって直流電源4からの電子ビーム発生用の電流を制御して加熱部1における放電を制御し、これにより、グロ-放電からア-ク放電への移行を防止する。

Claim (excerpt)：

グロー放電により得られる電子ビームで材料を加熱する処理がなされる加熱部と、電子ビームを加熱部において発生させるための電力を供給する電源手段と、前記電源手段からの電子ビーム発生用の電流を制御して加熱部における放電を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする電子ビーム加熱装置。

IPC (2)：

C21D 1/38 ,  H01L 21/263

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭59-023442
  
• 特開平2-303687
  
• 特開昭59-040449
  
• 特開昭62-115637