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J-GLOBAL ID：200903041015881678
反射防止膜および該反射防止膜を備えた光学系、ならびに該光学系を用いた露光装置やデバイス製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994277831
Publication number (International publication number)：1995261002
Application date： Nov. 11, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：
【要約】【目的】 吸収の小さく且つ優れた反射防止特性を有する反射防止膜を提供すること。【構成】 Ta2O5 を含む高屈折率層と、SiO2 を含む低屈折率層を有することを特徴とする反射防止膜である。ここで、波長365nmの光に対する前記低屈折率層と前記高屈折率層の屈折率を各々NL 、NH とするとき、1.42≦NL ≦1.502.10≦NH ≦2.40を満たす。
Claim (excerpt)：
Ta2O5 を含む高屈折率層と、SiO2 を含む低屈折率層を有することを特徴とする反射防止膜。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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