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J-GLOBAL ID:200903041117330919

半導体レーザ装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 宮田 金雄 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997178298
Publication number (International publication number):1999026880
Application date: Jul. 03, 1997
Publication date: Jan. 29, 1999
Summary:
【要約】【課題】 クラッド層中のキャリア濃度が高い場合においても、活性層へのキャリア拡散を効果的に抑制することができる半導体レーザ装置を得る。【解決手段】 本半導体レーザ装置は、n型GaAs基板1の一主面上に形成されたn型AlGaInP第1クラッド層3と、この上に形成された量子井戸活性層4と、この上に形成された低濃度のp型AlGaInP第2クラッド層5と、この上に形成されたp型GaInPエッチング阻止層6と、この上に形成された、p型AlGaInPキャリア拡散抑制層7、及びキャリア濃度が第2クラッド層5より高いp型AlGaInP第3クラッド層8を積層したリッジ構造体10と、それ以外の部分に形成されたn型GaAs電流阻止層11と、第3クラッド層8上に形成されたp型GaAsコンタクト層12とを備え、キャリア拡散抑制層7が第3クラッド層8よりも低いキャリア濃度を有することを特徴とする。
Claim (excerpt):
第1導電型の化合物半導体基板と、上記基板の一主面上に形成された第1導電型の第1クラッド層と、上記第1クラッド層上に形成された活性層と、上記活性層上に形成された第2導電型の第2クラッド層と、上記第2クラッド層上に形成された第2導電型のエッチング阻止層と、上記エッチング阻止層上にストライプ状に形成された、第2導電型のキャリア拡散抑制層、及び、キャリア濃度が第2クラッド層より高い第2導電型の第3クラッド層をこの順に積層したリッジ構造体と、上記エッチング阻止層上の上記リッジ構造体以外の部分に形成された第1導電型の電流阻止層と、上記第3クラッド層及び電流阻止層上に形成された第2導電型のコンタクト層とを備え、上記キャリア拡散抑制層が第3クラッド層よりも低いキャリア濃度を有することを特徴とする半導体レーザ装置。
IPC (2):
H01S 3/18 ,  H01L 33/00
FI (2):
H01S 3/18 ,  H01L 33/00 B

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