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J-GLOBAL ID：200903041120089491

感放射線性組成物

Inventor： 村田 誠 ,  山近 幹雄 ,  勇元 喜次 ,  三浦 孝夫
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992216052
Publication number (International publication number)：1993224422
Application date： Aug. 13, 1992
Publication date： Sep. 03, 1993
Summary：

【要約】【構成】(A)下記式(1)【化1】で表わされる繰返し単位を有する重合体および(B)感放射線性酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【効果】本発明の感放射線性組成物は、エキシマレーザーなどの遠紫外線、シンクロトロン放射線などのX線、電子線などの荷電放射線といった、放射線のいずれにも対応できるので、今後さらに微細化が進行すると予想される集積回路製造用のレジストとして有利に使用できる。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)【化1】で表わされる繰返し単位を有する重合体および(B)感放射線性酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-000070
  
• 特表昭57-501497
  
• 特開平2-146045
  
• 特開平2-103049