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J-GLOBAL ID：200903041132668128

透明な積層基板、その使用方法および積層方法、基材への積層方法および装置、ならびに酸化窒化ハフニウム

Inventor： ヘルムート ルディギール ,  ラインハルト スペルガー
Applicant, Patent owner： バルツェルス アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 青木 朗 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992332794
Publication number (International publication number)：1993254887
Application date： Dec. 14, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 透視可能な部材の反射および消光定数を減少させる。【構成】 基材20の少なくとも1つの側の上に、透明な多層からなる層系23,24を有し、その少なくとも1層をハフニウム、ジルコニウム、タンタルまたはチタンの酸化窒化物の層とする。この層を形成する反応性蒸着法に使用する混合ガスは予め十分に混合しておく。ハフニウム酸化窒化物は屈折率が2.6〜2.8、消光定数Kが0.02以下である。

Claim (excerpt)：

基板の少なくとも1つの側の上に透明な多層からなる層系を有し、その少なくとも1層が、ハフニウム、ジルコニウム、タンタルまたはチタンの酸化窒化物の層であることを特徴とする透視可能な部材を構成するための透明な積層基板。

IPC (5)：

C03C 17/34 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 17/06 ,  B60J 1/00 ,  C03C 17/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-261242
  
• 特開平2-225346
  
• 透明物品およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-206804   Applicant：日本板硝子株式会社