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J-GLOBAL ID：200903041160232629
回折光学素子を含む光学系
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995230105
Publication number (International publication number)：1996220482
Application date： Sep. 07, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：
【要約】【課題】 回折効率の波長依存に伴う光学系の性能低下を低減し、不要次数光によるフレアの発生を有効に防止できる回折光学素子を含む光学系を提供する。【解決手段】 レリーフ型回折光学素子11を含む結像レンズ系3と、照明光学系1とを有し、回折光学素子11は、そのレリーフパターン面10を、全体として一つのレンズとしての作用を有しつつ、複数の異なる波長の光で回折効率がそれぞれ最大となる複数の異なる溝深さの領域に分割し、照明光学系1は、レリーフパターン面10の各領域にそれぞれ対応する領域を有し、レリーフパターン面10の対応する領域における回折効率が最大となる波長を実質的に中心波長とする帯域光を透過させる波長選択性を有する波長選択素子9を具え、レリーフパターン面10および波長選択素子9を、これらの間に位置するレンズ系14に関して近軸的にほぼ共役位置関係となるように配置する。
Claim (excerpt)：
鋸歯断面形状を有するレリーフ型回折光学素子を含む結像レンズ系と、照明光学系とを有し、前記回折光学素子は、そのレリーフパターン面を、全体として一つのレンズとしての作用を有しつつ、複数の異なる波長の光で回折効率がそれぞれ最大となる複数の異なる溝深さの領域に分割して構成し、前記照明光学系は、前記回折光学素子のレリーフパターン面の各領域にそれぞれ対応する領域を有し、前記レリーフパターン面の対応する領域における回折効率が最大となる波長を実質的に中心波長とする帯域光を透過させる波長選択性を有する波長選択素子を具え、前記回折光学素子のレリーフパターン面および波長選択素子を、これらの間に位置するレンズ素子を含む光学素子を一つのレンズ系と見なしたとき、該レンズ系に関して近軸的にほぼ共役位置関係となるように配置したことを特徴とする回折光学素子を含む光学系。
IPC (5)：
G02B 27/42
, G02B 3/08
, G02B 5/18
, G02B 5/22
, G02B 5/28
G02B 27/42
, G02B 3/08
, G02B 5/18
, G02B 5/22
, G02B 5/28
