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J-GLOBAL ID：200903041185033973
3軸角速度・加速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高山 敏夫
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994514368
Publication number (International publication number)：1996504275
Application date： Dec. 08, 1993
Publication date： May. 07, 1996
Summary：
【要約】3軸センサ基板が3つの直交軸に沿い可動物体の角速度および加速度の測定に使用可能にされる。3軸センサ基板には互いに120度の角度を置いて基板平面上に配置される3つのセンサが形成される。各センサは基板平面に対しある角度で傾斜せしめられ、反対方向に向けられた検出軸を有する2つの加速度計から形成される。従つて角速度検出軸は3つの直交軸に沿つて配置されることになる。旋回加速度感度を減少あるいは除去するために2つの基板を含む構成が採用される。各基板は互いに120度の角度を置いて基板平面上で配置される3つの加速度計を有する。第1の基板の加速度計の検出軸は第1の基板平面に対しある角度でその中央部に向かい傾斜され、検出軸は3つの傾斜軸に沿つて配設される。同様に第2の基板の加速度計の検出軸は第2の基板平面に対しある角度をもつてその中央部に向かい傾斜され、検出軸は同一の3つの、反対方向に向く軸に沿つて配置される。第1および第2の基板の検出軸は旋回加速度感度を防止するよう整合される。
Claim (excerpt)：
基板に具備された第1の組の同平面加速度計と、基板に具備された第2の組の平面加速度計と、基板内に形成され第1および第2の加速度計を互いに連結して第1および第2の組の加速度計の一対の加速度計を同一の周波数で振動させる連結装置とを備え、第1の組の加速度計の夫々は基板の平面に対しある角度、傾斜された検出軸を有し、第1の組の加速度計が基板の平面上に第1の組の加速度計の検出軸を互いに傾斜させて配置され、第2の組の加速度計の夫々は基板の平面に対しある角度、傾斜された検出軸を有し、第2の組の加速度計が基板の平面上に第2の組の加速度計の検出軸を互いに傾斜させて配置され、第2の組の加速度計の夫々は第1の組の加速度計の、これと対応する加速度計と対をなし、対応する加速度計の対が平行、反平行である検出軸を有してなる3軸角速度・加速度センサに使用可能な実質的に平坦な基板。
IPC (3)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/00
