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J-GLOBAL ID:200903041212194550

耐プラズマ性ふっ素系エラストマー成形体

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000370402
Publication number (International publication number):2002173543
Application date: Dec. 05, 2000
Publication date: Jun. 21, 2002
Summary:
【要約】【課題】 圧縮永久ひずみ、耐プラズマ性、シール性が従来よりも格段に優れたふっ素系エラストマー成形体を提供する。【解決手段】 ふっ素系エラストマー、好ましくはふっ素系熱可塑性エラストマーを、電離性放射線によって架橋してなることを特徴とする耐プラズマ性ふっ素系エラストマー成形体。
Claim (excerpt):
ふっ素系エラストマーを、電離性放射線によって架橋してなることを特徴とする耐プラズマ性ふっ素系エラストマー成形体。
IPC (9):
C08J 7/00 305 ,  C08J 7/00 CEW ,  B01J 19/02 ,  B01J 19/12 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46 ,  C08L 15:02 ,  C08L 27:12
FI (9):
C08J 7/00 305 ,  C08J 7/00 CEW Z ,  B01J 19/02 ,  B01J 19/12 C ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 A ,  C08L 15:02 ,  C08L 27:12 ,  H01L 21/302 B
F-Term (35):
4F073AA05 ,  4F073BA15 ,  4F073BA41 ,  4F073CA41 ,  4F073CA42 ,  4F073EA62 ,  4F073EA63 ,  4F073EA76 ,  4G075AA32 ,  4G075BA02 ,  4G075BA05 ,  4G075BA10 ,  4G075CA02 ,  4G075CA39 ,  4G075CA51 ,  4G075DA13 ,  4G075EB01 ,  4G075FB12 ,  4G075FB13 ,  4G075FC09 ,  4G075FC17 ,  5F004BB29 ,  5F004BD01 ,  5F004BD04 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA04 ,  5F004DA11 ,  5F004DA16 ,  5F004DA17 ,  5F004DA24 ,  5F004DA26 ,  5F045AA08 ,  5F045EC05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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