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J-GLOBAL ID：200903041221274109

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 秋山 将宏 ,  猪俣 克巳 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995062294
Publication number (International publication number)：1996262708
Application date： Mar. 22, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂並びに例えば下記式(1)または式(2)【化1】で表される化合物および/または式(1)または式(2)で表される化合物の1,2-キノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、現像性に優れているとともに、高解像度で、特に、フォーカス許容性が著しく改善される。そのため高集積度の集積回路の作製用レジストとして好適に使用できる。

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ可溶性樹脂並びに(B)下記式(1)【化1】[式(1)中、X1〜X10は、相互に同一または異なり、水素原子、アルキル基、アルコキシル基または-ODで示される基(但し、Dは水素原子または1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。)であり、Rは置換または非置換のアルキル基、置換または非置換のアラルキル基あるいは置換または非置換のアリール基であり、但しX1〜X5およびX6〜X10のそれぞれの組合せにおいて、少くとも1つは-ODで示される基である。]で表される化合物および下記式(2)【化2】[式(2)中、X11〜X30は、相互に同一もしくは異なり、水素原子、アルキル基、アルコキシル基または-ODで示される基(但し、Dは水素原子または1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。)であり、Yは2価の有機基または単結合であり、但しX11〜X15、X16〜X20、X21〜X25およびX26〜X30のそれぞれの組合せにおいて、少くとも1つは-ODで示される基である。]で表される化合物よりなる群から選ばれる少くとも1種の化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R