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J-GLOBAL ID：200903041242991803

光投影露光装置

Inventor： 佐瀬 善光 ,  高橋 仁 ,  林 広一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991304500
Publication number (International publication number)：1993144704
Application date： Nov. 20, 1991
Publication date： Jun. 11, 1993
Summary：

【要約】【構成】投影レンズ2を通してウェハ3上のアライメントマーク4の位置を光学的に検知するアライメント光学系の光路中に、色収差補正光学系12,15を設け、かつ、検出に用いる波長域を任意に選択可能な、波長選択手段を設ける事により、実際のアライメントマーク4の膜厚条件に応じて、最適な波長域を選択する。又、波長の選択は、信号判定回路31及び波長選択回路33により、自動で制御され、常に干渉の影響を受けない好適なアライメント用信号を得る。【効果】投影レンズの色収差を補正する色収差補正光学系を実現可能な波長域の範囲で作成した場合、干渉効果を完全に相殺出来ない膜厚領域となった時に、当該膜厚条件に対し、最適な波長域を選択する事で、良好なアライメント信号を得る。

Claim (excerpt)：

原画となるマスクを第1の波長域の光で照明する露光用照明光学系と、該第1の波長域の光により投影レンズを介して被露光体であるウェハ上に転写する投影光学系を備え、かつ前記被露光体に設けられたアライメントマークを前記第1の波長域とは異なる第2の波長域の光で照明するアライメント用照明光学系と該アライメント用光学系による照明光の反射光で、アライメントマークの位置情報を含む検出光を取り込み、被露光体の位置計測を実行するアライメント検出系と、該アライメント検出系の光路中に、上記投影レンズの色収差により発生する波長毎に異なる前記アライメントマークの結像位置の違いを、特定の波長域に対して一定の位置に結像せしめる事が可能な色収差補正系を有するタイプの光投影露光装置で、上記アライメント光学系の光路中に、色収差補正が成された波長領域中のいずれかの単一波長又は、波長域を任意に選択可能な、波長選択手段を設けた事を特徴とする光投影露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521