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J-GLOBAL ID：200903041246012419

ロボットアーム付着色レジスト焼成用オーブンおよび着色レジスト焼成方法

Inventor： 中曽 教尊
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998074219
Publication number (International publication number)：1999270970
Application date： Mar. 23, 1998
Publication date： Oct. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】有機カラーフィルターの焼成工程で、オーブン内で発生する昇華ガスの固化付着のないロボットアーム付焼成用オーブン及び焼成方法の提供にある。【解決手段】基板10上に着色レジスト膜14を有する基板材料12をロボットアーム20にて搬出入する有機カラーフィルターの焼成のためのロボットアーム付オーブンであって、該ロボットアーム20のアーム部22が、昇温可能な棒状材でなり、前記基板材料12を予備加熱するホットプレート30を具備してなるロボットアーム付着色レジスト焼成用オーブン1としたもので、前記ホットプレート30上で予備加熱された基板材料12をロボットアームの昇温されたアーム部22に乗せて、焼成用オーブン内に搬入して焼成し、焼成された基板材料22を昇温されたアーム部22に乗せ搬出する着色レジスト焼成方法としたものである。

Claim (excerpt)：

基板上に、パターン化された着色レジスト膜を有する基板材料をロボットアームを用いて搬出入する有機カラーフィルターの焼成のためのロボットアーム付着色レジスト焼成用オーブンであって、該ロボットアームのアーム部が、昇温可能な棒状材でなることを特徴とするロボットアーム付着色レジスト焼成用オーブン。