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J-GLOBAL ID：200903041247711841

非対称強誘電体コンデンサ及びその形成方法

Inventor： ウィリアム・ラルソン ,  ポール・ジェイ・スキュール
Applicant, Patent owner： ラムトロン・インターナショナル・コーポレーション
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993056269
Publication number (International publication number)：1994013572
Application date： Mar. 17, 1993
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 非対称動作を行い集積回路に使用する強誘電体コンデンサ。【構成】 このコンデンサは、下部電極と、この下部電極上の強誘電体層と、下部電極と強誘電体層の側面上の誘電体スペーサと、強誘電体層上の上部電極とを備えている。下部と上部の電極は、異なる材料から成る。或いはまた、強誘電体層の上部表面内に、イオンインプランテーション領域を形成している。非対称強誘電体コンデンサを形成する方法も開示されている。

Claim (excerpt)：

集積回路用の非対称強誘電体コンデンサであって、側面を有する下部電極と、前記下部電極上に位置して側面を有する強誘電体層と、前記下部電極と前記強誘電体層のそれぞれの前記側面に位置するスペーサと、前記強誘電体層上に位置し、前記下部電極の材料とは異なった材料から成る上部電極とを備えたことを特徴とする非対称強誘電体コンデンサ。

IPC (2)：

H01L 27/108 ,  H01L 27/04

FI (2)：

H01L 27/10 325 J ,  H01L 27/10 325 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-082265
  
• 特開平4-080959