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J-GLOBAL ID：200903041247886510

洗浄方法

Inventor： 森田 博志
Applicant, Patent owner： 栗田工業株式会社
Agent (1)： 内山 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999174302
Publication number (International publication number)：2001007073
Application date： Jun. 21, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】ガス溶解水を用いて被洗浄物の表面に付着した異物を効果的に除去することができる洗浄方法を提供する。【解決手段】水素ガス、酸素ガス及び希ガスより選ばれる1種又は2種以上のガスを溶解したガス溶解水を減圧し、減圧することにより発生した微細気泡と被洗浄物とを接触させることを特徴とする洗浄方法。

Claim (excerpt)：

水素ガス、酸素ガス及び希ガスより選ばれる1種又は2種以上のガスを溶解したガス溶解水を減圧し、減圧することにより発生した微細気泡と被洗浄物とを接触させることを特徴とする洗浄方法。

IPC (2)：

H01L 21/304 647 ,  C11D 7/04

FI (2)：

H01L 21/304 647 Z ,  C11D 7/04

F-Term (4)：

4H003DA15 ,  4H003DC04 ,  4H003EA31 ,  4H003FA20