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J-GLOBAL ID：200903041249229613
カンチレバーの製造方法及びそれを備えた 走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993058879
Publication number (International publication number)：1994275190
Application date： Mar. 18, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：
【要約】【目的】 高耐久性の走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーを容易に製造する。【構成】 可撓性板材(12)とその一端に位置し板面からほぼ垂直方向に突出した基礎となる突起(13)を有する第1素材を用意し(第1工程)、第1素材の突起(13)の尖端にメッキ法によりメッキ針を形成する(第2工程)。
Claim (excerpt)：
第1工程:可撓性板材と、その一端に位置し板面からほぼ垂直方向に突出した基礎となる突起を有する第1素材を用意する工程;第2工程:前記第1素材の突起の尖端にメッキ法によりメッキ針を形成する工程;からなるカンチレバーの製造方法。
IPC (2)：
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