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J-GLOBAL ID：200903041270561148

遮光性薄膜形成組成物

Inventor： 鈴木 勝 ,  木下 暢 ,  上原 賢 ,  渡辺 務 ,  徳田 剛 ,  西原 伸彦
Applicant, Patent owner： 住友セメント株式会社 ,  神東塗料株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992093174
Publication number (International publication number)：1993289336
Application date： Apr. 13, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 電気抵抗が高く、環境汚染性が低く、十分に黒色であり、しかも耐熱性も高い遮光性薄膜を形成し得る組成物を提供する。【構成】 背面露光法に用いられる遮光性薄膜形成組成物であって、ネガ型レジスト30〜80重量部に対し硫化ビスマスを70〜20重量部配合してなる遮光性薄膜組成物。

Claim (excerpt)：

背面露光法に用いられる遮光性薄膜形成組成物であって、ネガ型レジスト30〜80重量部に対し硫化ビスマスを70〜20重量部配合してなることを特徴とする遮光性薄膜形成組成物。

IPC (7)：

G03F 7/038 ,  C01G 29/00 ,  C09K 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/004 521