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J-GLOBAL ID：200903041274880710
アルカリ現像型感光性樹脂組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
朝日奈 宗太 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991180630
Publication number (International publication number)：1993027435
Application date： Jul. 22, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：
【要約】【目的】 基材の表面温度が常温であり、圧着ロール温度の変動差が大きくても基材との密着性および追従性にすぐれ、しかも温度変化による寸法変化が大きい基材との密着性および追従性もすぐれたレジストを形成しうるアルカリ現像型感光性樹脂を提供すること。【構成】 (A) カルボキシル基含有熱可塑性樹脂、(B) ポリエステルポリオールまたはポリエーテルポリオールに多価イソシアネートを反応させたのち、(メタ)アクリル系モノマーを反応させてなるウレタンアクリルオリゴマー、長鎖ポリアルキレングリコールのモノ(メタ)アクリル酸エステルおよびこれら以外のエチレン性不飽和単量体を含むエチレン性不飽和化合物の混合物、および(C) 光重合開始剤を含有してなる。
Claim (excerpt)：
(A) カルボキシル基含有熱可塑性樹脂、(B) ポリエステルポリオールまたはポリエーテルポリオールに多価イソシアネートを反応させたのち、(メタ)アクリル系モノマーを反応させてなるウレタンアクリルオリゴマー、長鎖ポリアルキレングリコールのモノ(メタ)アクリル酸エステルおよびこれら以外のエチレン性不飽和単量体を含むエチレン性不飽和化合物の混合物、および(C) 光重合開始剤を含有してなるアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
IPC (7)：
G03F 7/027 513
, C08F299/02 MRS
, C08F299/06 MRX
, G03F 7/027 502
, G03F 7/038 501
, H01L 21/027
, H05K 3/06
Cited by examiner (7)
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