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J-GLOBAL ID：200903041287618364
マイクロ質量センサとその発振子の保持機構
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
望月 孝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002266987
Publication number (International publication number)：2006078179
Application date： Sep. 12, 2002
Publication date： Mar. 23, 2006
Summary：
【課題】高感度・高精度・高安定度の、かつ耐久性のある小型の水晶発振子質量センサを提供する。【解決手段】平行平板水晶片の中央部分に、強弱2段階以上のドライエッチング加工を行った後ウェットエッチング加工を行って、縦断面が台形状の卓状形状に掘り下げた逆メサ型水晶発振子とし、加えて、仕上げ加工によって逆メサ型加工部分を凸レンズ状として、高感度化・高精度化・高安定化・小型化した水晶発振子とした。さらに、水晶発振子固定枠の剛性を高めるとともに該固定枠の平面度を保つ機構を設けて高周波における導電性を確保し、また水晶発振子固定枠の絶縁性を高めて電磁波の漏洩を軽減して、高精度・耐久性のある質量センサとした。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
水晶発振子の一面の中央部及びそれに対向する他面に電極を対面させて蒸着し、一面の蒸着膜の一部を他面にまで伸長製作して他面で二つの電極接触面とし導電棒と接触導通し、該他面を密封した質量センサであって、水晶発振子に平行平板水晶発振子の片面をエッチング加工により切頭錐体状に掘り下げた水晶発振子を用い、エッチング加工面を密封し、他一面を検出体用に露出させたこと、を特徴とする質量センサ。
IPC (1)：
FI (1)：
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