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J-GLOBAL ID：200903041316022255

ドライアイススノー噴射洗浄装置と洗浄方法

Inventor： 関原 章司 ,  太田 英俊 ,  米谷 公昭
Applicant, Patent owner： 日本酸素株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000241622
Publication number (International publication number)：2001277116
Application date： Aug. 09, 2000
Publication date： Oct. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】 被洗浄物表面での結露と静電気発生に伴う損傷発生を防ぎ、適切かつ効率良い洗浄を可能としたドライアイススノー噴射洗浄装置と洗浄方法の提供。【解決手段】 液化炭酸ガス容器1から、液化炭酸ガスTLを断熱膨張させてドライアイススノーTSを生成せしめて噴射洗浄ノズル23に至るドライアイススノー生成供給系統8と、噴射用ガス源容器11から前記噴射洗浄ノズル23に至る噴射用ガス供給系統18からなり、前記ドライアイススノー生成供給系統8に液化炭酸ガスを間欠的に供給するための開閉手段3を設けたドライアイススノー噴射洗浄装置で、ドライアイススノーTSを間欠的に噴射洗浄ノズル23に供給し、又噴射用ガスGを加熱制御手段19で加温し、かつイオン化手段16でイオン化して連続的に噴射洗浄ノズル23に供給し、噴射洗浄ノズル23より除電した状態のドライアイススノーTSを噴射して、被洗浄物を洗浄する洗浄方法。

Claim (excerpt)：

ドライアイススノーを噴射するための噴射洗浄ノズル、液化炭酸ガスを貯蔵する液化炭酸ガス容器、該液化炭酸ガス容器から前記噴射洗浄ノズルまでのドライアイススノー生成供給系統と、噴射用ガス源、該噴射用ガス源から前記噴射洗浄ノズルまでの噴射用ガス供給系統とから構成され、液化炭酸ガスを断熱膨張させてドライアイススノーを生成するドライアイススノー噴射洗浄装置において、前記ドライアイススノー生成供給系統に液化炭酸ガスを間欠供給するための開閉手段を設けてなることを特徴とするドライアイススノー噴射洗浄装置。

IPC (6)：

B24C 1/00 ,  B08B 5/02 ,  B08B 7/00 ,  B24C 3/32 ,  B24C 5/04 ,  H01L 21/304 643

FI (6)：

B24C 1/00 A ,  B08B 5/02 A ,  B08B 7/00 ,  B24C 3/32 D ,  B24C 5/04 A ,  H01L 21/304 643 Z

F-Term (10)：

3B116AA03 ,  3B116AA46 ,  3B116AB51 ,  3B116BA06 ,  3B116BB21 ,  3B116BB32 ,  3B116BB82 ,  3B116BB88 ,  3B116BB89 ,  3B116CC05