ウェハダイシング・接着用シート

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995223988
Publication number (International publication number)：1997067558
Application date： Aug. 31, 1995
Publication date： Mar. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】室温条件または温和な熱圧着条件でウエハに貼着可能で回路面等への負担が少なく、さらにダイシングの際にはダイシングテープとして使用することができ、しかも接着剤としてウェハ裏面にマウントすることができ、リードフレーム等との接着力に優れ、ダイボンド後に耐熱性、耐老化性等に優れた硬化物を形成しうる接着剤層を備えた接着用シートを提供すること。【解決手段】本発明に係るウェハダイシング・接着用シートは、基材と、その上に形成された接着剤層とからなり、該接着剤層がポリイミド系樹脂と、該ポリイミド系樹脂と相溶する含窒素有機化合物とを含む接着剤組成物からなることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

基材と、その上に形成された接着剤層とからなり、該接着剤層がポリイミド系樹脂と該ポリイミド系樹脂と相溶する含窒素有機化合物とを含む接着剤組成物からなるウェハダイシング・接着用シート。

IPC (5)：

C09J179/08 JGE , C09J 7/02 JKD , C09J 7/02 JKK , C09J 7/02 JLE , H01L 21/301

FI (5)：

C09J179/08 JGE , C09J 7/02 JKD , C09J 7/02 JKK , C09J 7/02 JLE , H01L 21/78 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (28)

接着フィルム、その製造法及び接着法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-055601 Applicant：日立化成工業株式会社
接着フィルム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-018496 Applicant：日立化成工業株式会社
フィルム接着剤およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-325019 Applicant：住友ベークライト株式会社

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