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J-GLOBAL ID:200903041348173093

回折光学素子及びそれを用いた光学系

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高梨 幸雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996281831
Publication number (International publication number):1998111408
Application date: Oct. 03, 1996
Publication date: Apr. 28, 1998
Summary:
【要約】【課題】 入射光の殆どを隣接する2 つの次数の回折光に分配すると共に、該2 つの次数の回折光の結像点間の間隔を所望の値に設定できる回折光学素子及びそれを用いた光学系を得ること。【解決手段】 回折光学素子において、n を1 以上の整数として各ゾーン(領域)の境界における位相の変化量を(2n+1)πとしている。
Claim (excerpt):
回折光学素子において、n を1 以上の整数として、各ゾーン(領域)の境界における位相の変化量を(2n+1)πとしていることを特徴とする回折光学素子。
IPC (4):
G02B 5/18 ,  G02B 27/42 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (4):
G02B 5/18 ,  G02B 27/42 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 522 E
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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