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J-GLOBAL ID：200903041353064030

多種試料の磁気特性測定方法

Inventor： 藤井 重男
Applicant, Patent owner： 日立金属株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001111710
Publication number (International publication number)：2002310900
Application date： Apr. 10, 2001
Publication date： Oct. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 同一基板上に温度、組成、膜構成、膜厚などの製造因子が異なる微小形状試料が同時に多数形成されてなる薄膜試料において、個々の試料を切り離すことなく瞬時に微小試料の特性測定を行うことを目的とする。【解決手段】 同一基板上に作成条件が異なる多種試料が形成されてなる薄膜試料を用い、各々の試料にレーザを照射して磁気光学特性を測定し、相対的に磁気特性を比較することを特長とする。

Claim (excerpt)：

同一基板上に作成条件が異なる多種試料が形成されてなる薄膜試料を用い、各々の試料にレーザを照射して磁気光学特性を測定し、相対的に磁気特性を比較することを特長とする多数試料の磁気特性測定方法。

IPC (5)：

G01N 21/21 ,  G01N 21/01 ,  G01N 37/00 103 ,  G01R 33/032 ,  G01R 33/12 ZCC

FI (5)：

G01N 21/21 A ,  G01N 21/01 B ,  G01N 37/00 103 ,  G01R 33/032 ,  G01R 33/12 ZCC Z

F-Term (19)：

2G017AA01 ,  2G017AD11 ,  2G017AD65 ,  2G017CA04 ,  2G017CA06 ,  2G017CC06 ,  2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059DD12 ,  2G059DD16 ,  2G059EE05 ,  2G059FF11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG06 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK01