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J-GLOBAL ID：200903041353768151

プラズマ反応器およびその作動方法

Inventor： ウエルナー、クリストフ ,  ブリンクマン、ラルフ ペーター
Applicant, Patent owner： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
Agent (1)： 富村 潔
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996517248
Publication number (International publication number)：1998510389
Application date： Dec. 05, 1995
Publication date： Oct. 06, 1998
Summary：

【要約】プラズマ反応器、たとえば平行板反応器またはICP反応器はなかんずくプラズマ励起のために少なくとも2つの互いに無関係に駆動可能な部分装置を含んでいる装置を含んでおり、これらの部分装置を介してプラズマが少なくとも2つの異なる個所において相い異なって励起可能である。プラズマ反応器内のプロセスの際、たとえば層の析出の際またはエッチングの際の不均一性が部分装置の相応の駆動により平衡される。

Claim (excerpt)：

基準電位に接続されているウェハホルダ(14)を有し、 ポンプ短管(12)を有し、 ガス供給管(13)を有し、 電気エネルギーの入結合によりプラズマを励起するための装置(15)を有し、この装置が少なくとも2つの互いに無関係に駆動可能な部分装置(151、152)を含んでおり、これらの部分装置を介してプラズマがウェハホルダ(14)の上の少なくとも2つの異なる個所において相い異なって励起可能であることを特徴とするプラズマ反応器。

IPC (5)：

H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01J 37/32 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5)：

H05H 1/46 M ,  C23F 4/00 A ,  H01J 37/32 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B