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J-GLOBAL ID：200903041366107766

モールド、パターン形成方法、及びパターン形成装置

Inventor： 末平 信人 ,  寺崎 敦則 ,  関 淳一 ,  稲 秀樹 ,  真島 正男
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006137319
Publication number (International publication number)：2007140460
Application date： May. 17, 2006
Publication date： Jun. 07, 2007
Summary：

【課題】モールドとワークとの高精度な位置合わせに適用される新規なパターン形成方法を提供する。【解決手段】パターン領域を含む第1の面と、該第1の面の反対側に位置する第2の面と、該第1の面から該第2の面側へ後退した位置に設けられているアライメントマーク2070とを備えているモールド104を用意し、 該モールドが有する該パターン領域1000と、基板5000上の被覆材とを接触させ、 該アライメントマークと該基板とが対向している該基板上の箇所に、該被覆材を配置した状態で、該モールドと該基板の位置に関する情報を、該アライメントマークと該基板側のマーク5300とを用いて取得し、該基板と該モールドとの位置合わせを行う。【選択図】 図17

Claim (excerpt)：

モールドであって、 転写するためのパターン領域を有する第1の面と、 前記第1の面と反対側に位置する第2の面と、 前記第1及び第2の面側に露出しないように埋め込まれている位置合わせのためのマークと、 を有することを特徴とするモールド。

IPC (3)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  B82B 1/00

FI (3)：

G03F7/20 501 ,  H01L21/30 502D ,  B82B1/00

F-Term (5)：

2H097AA20 ,  2H097LA17 ,  2H097LA20 ,  5F046AA28 ,  5F046EB10