Pat

J-GLOBAL ID：200903041374614049

感光性組成物

Inventor： 扇谷 聡 ,  池田 章彦
Applicant, Patent owner： 旭化成工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992127254
Publication number (International publication number)：1993323608
Application date： May. 20, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、水銀灯のg線に高い光感度を有する耐熱性感光性組成物を提供する。【構成】 イ)側鎖に炭素-炭素二重結合を有する基を有し、主鎖が炭素環式または複素環式基とアミド基、ウレア基またはウレタン基を繰り返し単位とする重合体、ロ)オキシム化合物、ハ)スチリル化合物を有してなる感光性組成物。【効果】 保存安定性に優れ、g線露光機に対して実用に充分な光感度を有した耐熱性感光性組成物が提供される。

Claim (excerpt)：

(イ)一般式【化1】〔式中のXは(2+n)価の炭素環式基または複素環式基、Yは(2+m)価の炭素環式基または複素環式基、Zは【化2】又は【化3】又は【化4】R0 は炭素-炭素二重結合を有する基、Wは熱処理により、-COOR0 のカルボニル基と反応して環を形成し得る基、nは1または2、mは0,1または2であり、かつCOOR0 とZは互いにオルト位またはペリ位の関係にある〕で示される繰り返し単位を有する重合体、(ロ)一般式【化5】〔式中R1 ,R2 ,R3 は水素原子、炭素数1ないし6のアルキル基、炭素数1ないし6のアルコキシ基、または、ニトロ基、R4 は、炭素数6ないし10の芳香族アシル基、炭素数1ないし6の脂肪族アシル基、炭素数1ないし6のアルコキシカルボニル基、炭素数6ないし10の芳香族スルホニル基、または、炭素数1ないし6の脂肪族スルホニル基、R5 は、炭素数1ないし6のアルコキシ基、炭素数6ないし10の芳香族基、または、炭素数6ないし10のアリーロキシ基を示す〕で示されるオキシム化合物、および、(ハ)一般式【化6】〔式中のQは、炭素環式基、複数環式基、または、カルボニル基を含む基、R6,R7 は、水素原子、メチル基またはエチル基を示す〕で示されるスチリル基を含む化合物を含有する感光性組成物。

IPC (6)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 505 ,  C08F299/02 MRR ,  C08L 75/04 NGB ,  C08L 79/08 LRB ,  H01L 21/027