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J-GLOBAL ID：200903041389720740

回折格子及び干渉露光装置

Inventor： 原 比佐子 ,  加藤 誠 ,  山本 和久 ,  水内 公典 ,  中村 真嗣
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993309101
Publication number (International publication number)：1995159609
Application date： Dec. 09, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ハ-フミラ-方式のビームスプリッタによる干渉ノイズの発生が抑圧され、高コントラストで大面積にわたって均一な干渉縞をレジスト上に形成できる方法を提供する。【構成】 コヒ-レント光源11から出射した光は対物レンズ12で絞られスペイシャルフィルタ121を通り、コリメ-トレンズ13により平行光となり、回折格子14に入射する。透過した0次光は遮光板15により、遮光され、回折した±1次光は2枚のミラ-16,17により反射されて露光位置Aで重ね合わされて露光される。回折格子14は、中心から、同心円状に周辺部に向かって深さが深くなっていて、コヒ-レント光源の強度分布を補償するごとく回折効率が制御されており、全露光面にわたって均一で高コントラストの干渉縞を形成可能ならしめる。

Claim (excerpt)：

コヒ-レント光源と、空間フィルタリング光学系と、回折格子とミラ-2つと、遮光板とを少なくとも含み、前記コヒ-レント光源から出射した光が、前記空間フィルタリング光学系を通り、前記回折格子に入射し、前記回折格子を透過した0次光は前記遮光板によって遮光され、前記回折格子により回折された±1次光が前記ミラ-により、反射され、重畳して干渉縞を露光することを特徴とする干渉露光装置。

IPC (2)：

G02B 5/18 ,  H01L 21/027

FI (2)：

H01L 21/30 522 D ,  H01L 21/30 528