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J-GLOBAL ID：200903041407655277

複合センサ

Inventor： 久保田 智之
Applicant, Patent owner： 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 石島 茂男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996159047
Publication number (International publication number)：1997318649
Application date： May. 30, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 一回の製造工程によって製造でき、小型、軽量の複合センサを提供する。【解決手段】 シリコンマイクロマシンの固定体71〜74に設けた構造層によって固定電極A〜Fを形成し、また、可動体によって構成された可動電極Gを、これも可動体で構成された弾性部材61〜64によって固定体51〜54に弾性支持させると、可動電極Gと固定電極A〜Fとで平行平板型の可変容量コンデンサができる。可動電極Gを振動させた場合、回転移動や加速度運動によって可動電極Gにコリオリの力や加速度による力が加えられ、各可変容量コンデンサの容量が変化する。その容量変化を検出すると角速度と加速度を求めることができる。可動体と基板とで構成される可変容量コンデンサを設ければ、3軸方向の加速度成分を検出できる。

Claim (excerpt)：

犠牲層と構造層とがこの順で形成された基板にパターニングとエッチングとを施し、前記構造層底面下の犠牲層を除去して構成した可動体と、前記構造層底面下の犠牲層を残して構成した固定体とが設けられ、前記基板に対して移動しないように構成された前記構造層を有する固定電極が形成され、前記可動体によって可動電極と弾性部材とが形成され、前記弾性部材を介して前記固定体に弾性支持された前記可動電極と前記固定電極とで複数の平行平板型の可変容量コンデンサが形成され、前記可変容量コンデンサに電圧を印加して前記可動電極を振動させ、回転運動の際に前記可動電極に加えられるコリオリの力を前記可変容量コンデンサの容量変化で検出し、角速度を求められるように構成されたことを特徴とする複合センサ。

IPC (3)：

G01P 9/04 ,  G01C 19/56 ,  G01P 15/125

FI (3)：

G01P 9/04 ,  G01C 19/56 ,  G01P 15/125